%0 Generic
%T Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates
%A Hu, Xiao
%I Universitätsverlag Chemnitz
%K Atomlagenabscheidung
%K Oberflächenchemie
%K Hochschulschrift
%K Leiterbahn
%K Kupferoxide
%K Kupfer
%K Diketonate beta
%K Ausgangsmaterial
%K Mehrskalenanalyse
%K Simulation
%D 2018
%C Universitätsverlag Chemnitz
%C Chemnitz
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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