author = { Hu, Xiao },

title = { Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates },

edition = { [1. Auflage] } ,

publisher = {Universitätsverlag Chemnitz},

isbn = {9783961000531},

isbn = {3961000530},

keywords = { Hochschulschrift , Leiterbahn , Atomlagenabscheidung , Kupferoxide , Kupfer , Diketonate beta , Ausgangsmaterial , Oberflächenchemie , Mehrskalenanalyse , Simulation , Kupferverbindungen },

year = {2018},

address = { Chemnitz },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }