TY -
BOOK
AU - Rose, Martin
TI -
Untersuchungen zur Oberflächenchemie der Atomlagenabscheidung und deren Einfluss auf die Effizienz von Prozessen
KW - Atomlagenabscheidung
KW - Simulation
KW - Hochschulschrift
PY - 2010
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -