TY - BOOK
AU - Schwille, Matthias C.
AU - Technische Universität Dresden
TI - Konformität von dünnen Schichten aus Atomlagenabscheidung in großen dreidimensionalen Strukturen und charakteristische Eigenschaften für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik
PB - Technische Universität Dresden
KW - Hochschulschrift
PY - [2017]
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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