%0 Book
%T Halbleiter-Technologie vom Roh-Silizium zum integrierten Schaltkreis
%A Kaestner, Peter
%7 1. Aufl.
%I Vogel-Verl.
%@ 3802301293
%K Halbleiter
%D 1980
%C Vogel-Verl.
%C Wuerzburg
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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