author = { Heusinger, Martin Friedrich-Schiller-Universität Jena Zeitner, Uwe Detlef AND Erdmann, Andreas AND Czarske, Jürgen },

title = { Untersuchungen zu deterministischem und stochastischem Streulicht in hocheffizienten binären Beugungsgittern },

publisher = {},

keywords = { Hochschulschrift , Streulicht , Beugungsgitter , Mikromechanik , Lithografie Halbleitertechnologie },

year = {[2019?]},

abstract = {Tag der Verteidigung: 20.08.2019},

address = { Jena },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }