TY - GEN
AU - Heusinger, Martin
AU - Friedrich-Schiller-Universität Jena
AU - Zeitner, Uwe Detlef
AU - Erdmann, Andreas
AU - Czarske, Jürgen
TI - Untersuchungen zu deterministischem und stochastischem Streulicht in hocheffizienten binären Beugungsgittern
KW - Hochschulschrift
KW - Streulicht
KW - Beugungsgitter
KW - Mikromechanik
KW - Lithografie Halbleitertechnologie
PY - [2019?]
N2 - Tag der Verteidigung: 20.08.2019
CY - Jena
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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