author = { Wurlitzer, Lisa Technische Universität Clausthal AND Shaker Verlag Maus-Friedrichs, Wolfgang },

title = { Spektroskopische und mikroskopische Untersuchungen zur Bildung von Siliciumoxidschichten aus einem zweistufigen Plasmaverfahren },

publisher = {Shaker Verlag},

isbn = {9783844078107},

isbn = {384407810X},

keywords = { Hochschulschrift , Siliciumdioxid , PECVD-Verfahren , Dünne Schicht , Rasterkraftmikroskopie , Konfokale Mikroskopie , Röntgen-Photoelektronenspektroskopie },

year = {2021},

abstract = {Literaturverzeichnis: Seite 139-154},

booktitle = {Fortschrittsberichte der Materialforschung und Werkstofftechnik ; Band 9},

address = { Düren },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }