%0 Book
%T Through silicon via field-effect transistor with Hafnia-based ferroelectrics and the doping of silicon by Gallium implantation utilizing a focused ion beam system
%A Winkler, Felix
%A Technische Universität Dresden
%A Bartha, Johann W.
%A Wenger, Christian
%K Hochschulschrift
%D 16.09.2020
%X Das Erscheinungsdatum ist der Tag der Verteidigung
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation