TY - BOOK
AU - Henke, Thomas
AU - Technische Universität Dresden
AU - Bartha, Johann W.
AU - Strehle, Steffen
TI - Untersuchungen zum Einsatz des ms-Blitzlampentemperns bei der Atomlagenabscheidung von dünnen Schichten und für die Rekristallisation von amorphem Silizium
KW - Hochschulschrift
PY - [2020?]
N2 - Tag der Verteidigung: 11.12.2020
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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