author = { Kämpfe, Thomas Technische Universität Dresden },

title = { Electron devices based on ferroelectric hafnium oxide thin films },

publisher = {TUDpress},

isbn = {9783959085526},

keywords = { Hochschulschrift , Mikroelektronik , Ferroelektrikum , Dünne Schicht , Hafniumdioxid },

year = {2022},

abstract = {Enthält Zeitschriftenaufsätze},

booktitle = {Dresdner Beiträge zur Sensorik ; Band 85},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }