author = { Krotkus, Simonas AND Anders, Thorsten AND Heuken, Michael AIXTRON SE },

title = { Graphen-Prozessierung auf 200mm-Wafern für mikroelektronische Anwendungen Schlussbericht zum Verbundprojekt : Teilprojekt: GIMMIK : Laufzeit: 01.01.2019-30.06.2022 },

publisher = {AIXTRON SE},

keywords = { Forschungsbericht },

year = {[2022]},

abstract = {Förderkennzeichen BMBF 03XP0210A},

abstract = {Verbundnummer 01185293},

abstract = {Literaturverzeichnis: Seite 5},

address = { Herzogenrath },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }