%0 Generic
%T Graphen-Prozessierung auf 200mm-Wafern für mikroelektronische Anwendungen Schlussbericht zum Verbundprojekt : Teilprojekt: GIMMIK : Laufzeit: 01.01.2019-30.06.2022
%A Krotkus, Simonas
%A Anders, Thorsten
%A Heuken, Michael
%A AIXTRON SE
%I AIXTRON SE
%K Forschungsbericht
%D [2022]
%X Förderkennzeichen BMBF 03XP0210A
%X Verbundnummer 01185293
%X Literaturverzeichnis: Seite 5
%C AIXTRON SE
%C Herzogenrath
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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