TY - GEN
AU - Krotkus, Simonas
AU - Anders, Thorsten
AU - Heuken, Michael
AU - AIXTRON SE
TI - Graphen-Prozessierung auf 200mm-Wafern für mikroelektronische Anwendungen Schlussbericht zum Verbundprojekt : Teilprojekt: GIMMIK : Laufzeit: 01.01.2019-30.06.2022
PB - AIXTRON SE
KW - Forschungsbericht
PY - [2022]
N2 - Förderkennzeichen BMBF 03XP0210A
N2 - Verbundnummer 01185293
N2 - Literaturverzeichnis: Seite 5
CY - Herzogenrath
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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