author = { Wächtler, Thomas },

title = { Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices },

publisher = {Universitätsverlag Chemnitz},

isbn = {9783941003170},

keywords = { Hochschulschrift , Kupfer , Kupferoxide , Dünne Schicht , Atomlagenabscheidung , Metallisieren , Ameisensäure , Atomschichtepitaxie , Ausgangsmaterial , Diketonate beta , Galvanische Abscheidung , Metallisierungsschicht , Reduktion , Ruthenium , Tantal , Tantalnitride , ULSI },

year = {2010},

abstract = {Enth. außerdem: Thesen},

address = { Chemnitz },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }