%0 Book
%T Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices
%A Wächtler, Thomas
%I Universitätsverlag Chemnitz
%@ 9783941003170
%K Hochschulschrift
%K Kupfer
%K Kupferoxide
%K Dünne Schicht
%K Atomlagenabscheidung
%K Metallisieren
%K Ameisensäure
%K Atomschichtepitaxie
%K Ausgangsmaterial
%K Diketonate beta
%K Galvanische Abscheidung
%K Metallisierungsschicht
%K Reduktion
%K Ruthenium
%K Tantal
%K Tantalnitride
%K ULSI
%D 2010
%X Enth. außerdem: Thesen
%C Universitätsverlag Chemnitz
%C Chemnitz
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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