%0 Book
%T Atomic layer deposition of nanostructured materials
%A Pinna, Nicola
%A Knez, Mato
%I Wiley-VCH
%@ 9783527327973
%@ 3527327975
%K Chemical vapor deposition
%K Microelectronics
%K Epitaxy
%K Nanotechnology
%K Nanostructural materials
%K Atomlagenabscheidung
%K Nanostrukturiertes Material
%D 2012
%X Literaturangaben
%C Wiley-VCH
%C Weinheim
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation