author = { Benner, Frank Vogt Verlag AND Technische Universität Dresden },

title = { Herstellung, Charakterisierung und Modellierung dünner aluminium(III)-oxidbasierter Passivierungsschichten für Anwendungen in der Photovoltaik },

publisher = {Jörg Vogt Verlag},

isbn = {3959470002},

isbn = {9783959470001},

keywords = { Hochschulschrift , Solarzelle , Silicium , Passivierung , Aluminiumoxide , Dünne Schicht , Dielektrische Schicht , Passivschicht , Atomlagenabscheidung , Herstellung , Stoffeigenschaft },

year = {2016},

abstract = {Literaturverzeichnis: Seite 133-151},

booktitle = {Beiträge aus der Elektrotechnik},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }