TY - GEN
AU - Higashi, Yasuo
AU - Takaie, Yuichi
AU - Endo, Katsuyoshii
AU - Kume, Tatsuya
AU - Enami, Kazuhiro
AU - Yamauchi, Kazuhiro
AU - Yamamura, Kazuya
AU - Yamauchi, Kazutoi
AU - Sano, Yasuhisa
AU - Ueno, Kenji
AU - Mori, Yuzo
TI - Surface gradient integrated profiler for X-ray and EUV optics
PB - Informa UK Limited
SN - 1878-5514
SN - 1468-6996
KW - General Materials Science
PY - 2007
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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