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Suzuki, Kazuaki [HerausgeberIn]; Smith, Bruce W. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Microlithography : science and technology - [2. ed.]

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Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, c 2007

Erschienen in: Optical science and engineering ; 12600
Rizvi, Syed [HerausgeberIn]

Handbook of photomask manufacturing technology

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Boca Raton, Fla. [u.a.]: DTaylor & Francis [u.a.], 2005

Erschienen in: A CRC Press book
Bucknall, David G. [VerfasserIn]

Nanolithography and patterning techniques in microelectronics

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Boca Raton; Boston; New York: CRC Press, Taylor & Francis Group, [2005] ; Cambridge, England: Woodhead Publishing, [2005]

Erschienen in: Woodhead Publishing in materials
Wong, Alfred Kwok-Kit [VerfasserIn]

Optical imaging in projection microlithography

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Bellingham, Wash.: SPIE Press, 2005

Erschienen in: Tutorial texts in optical engineering ; 66
Eynon, Benjamin G. [VerfasserIn]; Wu, Banqiu [VerfasserIn] ; DePesa, Paul [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Photomask fabrication technology : [fabrication processing methods, resolution enhancement techniques, quality control parameters, defect reduction]

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New York [u.a.]: McGraw-Hill, 2005

Erschienen in: McGraw-Hill electronic engineering
Trogisch, Sven [VerfasserIn]

Optische Strukturierung ultradünner funktioneller Polymerfilme

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2003
Helbert, John N. [HerausgeberIn]

Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications - [2nd ed]

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Park Ridge, NJ [u.a.]: Noyes Publ. [u.a.], c 2001

Erschienen in: Materials science and process technology series ; Electronic materials and process technology
Saint, Christopher [VerfasserIn]; Saint, Judy [VerfasserIn]

IC mask design : essential layout techniques

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New York, NY [u.a.]: McGraw-Hill, c 2002

Erschienen in: McGraw-Hill professional engineering
Hu, Shike [VerfasserIn]

Mechanical atomic force nanolithography for fabrication of high temperature single electron transistors

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Aachen: Shaker, 2001

Erschienen in: Berichte aus der Elektrotechnik
Wong, Alfred Kwok-Kit [VerfasserIn]

Resolution enhancement techniques in optical lithography

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Bellingham, Wash.: SPIE Press, c2001

Erschienen in: Tutorial texts in optical engineering ; 47
Behringer, Uwe [HerausgeberIn] ; EMC 17 2000 München Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

EMC 2000 : lectures held at the GMM conference, November 13 - 14, 2000 in Munich-Unterhaching, Germany

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 2000

Erschienen in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 32
Kirchauer, Heinrich [VerfasserIn]

Photolithography simulation

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Wien: Österr. Kunst- und Kulturverl., 2000

Erschienen in: Technische Universität Wien: Dissertationen der Technischen Universität Wien ; 90
Suzuki, Katsumi [HerausgeberIn]

Sub-half-micron lithography for ULSIs - [1st publ]

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Cambridge [u.a.]: Cambridge University Press, 2000
Behringer, Uwe [HerausgeberIn] ; European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components 16 1999 München, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

16th European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components '99 : lectures held at the GMM conference, November 15 - 16, 1999 in Munich, Germany

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 1999

Erschienen in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 30
Levinson, Harry J. [VerfasserIn]

Lithography process control

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Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press, 02-99

Erschienen in: Tutorial texts in optical engineering ; 28
Behringer, Uwe [HerausgeberIn] ; Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components 15 1998 München

Mask technology for integrated circuits and micro-components '98 : lectures held at the GMM-conference, November 16 - 17, 1998 in Munich, Germany

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 1998

Erschienen in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 25
Madou, Marc J. [VerfasserIn]

Fundamentals of microfabrication

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Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 1997
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / 1, Microlithography

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Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 1997

Erschienen in: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, ed. ; 1 - Institution of Electrical Engineers: IEE materials and devices series ; 12 - SPIE: SPIE press monograph ; 39
Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 12 1995 München

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile : Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1995

Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1243
Thompson, Larry F. [HerausgeberIn]

Introduction to microlithography - [2. ed.]

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Washington, DC: American Chemical Soc., 1994

Erschienen in: ACS professional reference book

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