Zum Inhalt springen Bott, Sascha [VerfasserIn] ; Technische Universität Dresden Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Stuttgart: Fraunhofer Verlag, [2017]
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> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (1) Wert ausschließen Magazinbestellung (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Zentralbibliothek (1) Wert ausschließen Bereichsbibliothek DrePunct (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Physik (1) Wert ausschließen Technik (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Bott, Sascha (1) Wert ausschließen Technische Universität Dresden (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen