TY -
BOOK
AU - Güttler, Dominik
TI -
An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering
PB - Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
KW - Hochschulschrift
KW - Forschungsbericht
PY - 2009
BT - Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Desden-Rossendorf e.V. ; 515
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -