TY - BOOK
AU - Wächtler, Thomas
TI - Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices
PB - Universitätsverlag Chemnitz
SN - 9783941003170
KW - Hochschulschrift
KW - Kupfer
KW - Kupferoxide
KW - Dünne Schicht
KW - Atomlagenabscheidung
KW - Metallisieren
KW - Ameisensäure
KW - Atomschichtepitaxie
KW - Ausgangsmaterial
KW - Diketonate beta
KW - Galvanische Abscheidung
KW - Metallisierungsschicht
KW - Reduktion
KW - Ruthenium
KW - Tantal
KW - Tantalnitride
KW - ULSI
PY - 2010
N2 - Enth. außerdem: Thesen
CY - Chemnitz
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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