TY - GEN
AU - Silver, Richard
AU - Germer, Thomas
AU - Attota, Ravikiran
AU - Barnes, Bryan M.
AU - Bunday, Benjamin
AU - Allgair, John
AU - Marx, Egon
AU - Jun, Jay
TI - Fundamental limits of optical critical dimension metrology: a simulation study
PB - SPIE
SN - 0277-786X
PY - 2007
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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