TY - GEN
AU - Arens, Winfried
AU - Ristau, Detlev
AU - Ullmann, Jens
AU - Zaczek, Christoph
AU - Thielsch, Roland
AU - Kaiser, Norbert
AU - Duparre, Angela
AU - Apel, Oliver
AU - Mann, Klaus R.
AU - Lauth, Hans
AU - Bernitzki, Helmut
AU - Ebert, Johanes
AU - Schippel, Stefan
AU - Heyer, H.
TI - Properties of fluoride DUV excimer laser optics: influence of the number of dielectric layers
PB - SPIE
SN - 0277-786X
PY - 2000
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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