@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Görlich, Siegfried
},
title = {
Elektronenstrahltesten passivierter integrierter MOS-Bausteine
},
publisher = {VDI-Verl.},
isbn = {3181461091},
keywords = {
MOS
,
Elektronenstrahltesten
},
year = {1986},
abstract = {Literaturverz. S. 229 - 242},
booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 61},
address = {
Düsseldorf
},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
}
}