author = { Sickmann, Jan LICHTE, HANNES AND Koch, Christoph T. },

title = { Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie },

publisher = {Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden},

keywords = { Mechanische Spannung , Halbleiter , Elektronenholografie , Messung , Raumauflösung , Dunkelziffer , Transistor , Berry-Phase , Beugung , Hologramm , Deckschicht , Drain , Transmissionselektronenmikroskopie , Dunkelfeldholographie , Geometrische Phase , Gitterverspannung , Dehnungsmessung , mechanisch verspannte Halbleiterstrukturen , transmission electron microscopy , dark-field electron holography , geometric phase , lattice strain , strain mapping , strained semiconductor devices , Hochschulschrift },

year = {2015},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }