%0 Book

%T Schichten schreiben Geschichte die Schlüsselfunktion der Materialherstellung in der Halbleitertechnologie (unter besonderer Berücksichtigung der Molekularstrahlepitaxie)

%A Diblitz, Christina

%I Logos Verlag

%@ 9783832552732

%K Hochschulschrift

%K Halbleitertechnologie

%K Halbleiterwerkstoff

%K Molekularstrahlepitaxie

%K Geschichte 1833-2021

%D [2021]

%C Logos Verlag

%C Berlin

%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2