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Generic
%T
Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie
%A Sickmann, Jan
%A LICHTE, HANNES
%A Koch, Christoph T.
%I Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
%K Mechanische Spannung
%K Halbleiter
%K Elektronenholografie
%K Messung
%K Raumauflösung
%K Dunkelziffer
%K Transistor
%K Berry-Phase
%K Beugung
%K Hologramm
%K Deckschicht
%K Drain
%K Transmissionselektronenmikroskopie
%K Dunkelfeldholographie
%K Geometrische Phase
%K Gitterverspannung
%K Dehnungsmessung
%K mechanisch verspannte Halbleiterstrukturen
%K transmission electron microscopy
%K dark-field electron holography
%K geometric phase
%K lattice strain
%K strain mapping
%K strained semiconductor devices
%K Hochschulschrift
%D 2015
%C Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2