%0 Book
%T Silicon processing for the VLSI era 1 Process technology
%A Wolf, Stanley
%A Tauber, Richard N.
%7 2. ed.
%I Lattice Pr.
%@ 0961672161
%K Silicium
%K VLSI
%K Technologie
%K Halbleitertechnologie
%K Integrierte Schaltung
%D 2000
%C Lattice Pr.
%C Sunset Beach, Calif.
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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