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  1. Poll, Hans-Ullrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente

    Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

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    Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985

    Erschienen in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4