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Medientyp: Buch Titel: Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Beteiligte: Poll, Hans-Ullrich [Mitarb.] Körperschaft: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente ; Technische Universität Karl-Marx-Stadt, Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Erschienen: Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Erschienen in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4 Umfang: II, 73 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 7990 : Sonstiges zur Physik dünner Schichten und Grenzflächen, z.B. Adhäsion, Diffusion Schlagwörter: Beschichten > Plasmaätzen Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. 68 - 73 Weitere Bestandsnachweise 0 : Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 60.8.1132 Barcode: 20437759 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 0586 00292 001 Barcode: 30611620 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden