Electron devices based on ferroelectric hafnium oxide thin films

Media type: Book; Thesis
Title: Electron devices based on ferroelectric hafnium oxide thin films
Contributor: Kämpfe, Thomas [VerfasserIn]
Corporation: Technische Universität Dresden
imprint: Dresden: TUDpress, 2022
Published in: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 85
Extent: x, 303 Seiten; Illustrationen, Diagramme
Language: English
ISBN: 9783959085526
RVK notation: ZN 3430 : Ferroelektrische Werkstoffe; Piezoelektrika
ZN 4150 : Dünnschichttechnologie
Keywords: Mikroelektronik > Ferroelektrikum > Dünne Schicht > Hafniumdioxid
Origination:
University thesis: Habilitationsschrift, Technische Universität Dresden, 2022
Footnote: Enthält Zeitschriftenaufsätze
Sprache der Zusammenfassung: Englisch, Deutsch

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