Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices
= Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente
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Media type:
E-Book;
Thesis
Title:
Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices
Parallel title:
Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente