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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Optimierung und Anwendung der Schwingquarzmesstechnik zur Untersuchung und Kontrolle der Atomanlagenabscheidung Beteiligte: Knaut, Martin [VerfasserIn] Körperschaft: Technische Universität Dresden Erschienen: Hamburg: tredition GmbH, [2018] Umfang: x, 165 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch ISBN: 9783746919782 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie ZQ 3720 : Messung von Längen und daraus abgeleiteten Größen ZQ 3950 : Messtechnik in Anwendungsgebieten Schlagwörter: Schwingquarz > Atomlagenabscheidung > Messtechnik > Schichtwachstum Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2017 Anmerkungen:
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2018 8 012760 Barcode: 33115074 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2018 8 012759 Barcode: 33115075 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden