Geidel, Marion
[VerfasserIn]
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Technische Universität Dresden
In-vacuo Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium
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Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
In-vacuo Untersuchungen zum initialen Aufwachsverhalten bei der Atomlagenabscheidung mittels Photoelektronenspektroskopie und Rastersondentechniken am Beispiel Ruthenium