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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Beteiligte: Hirsch, Jens [VerfasserIn] Körperschaft: Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Erschienen: Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018 Umfang: 111 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch Schlagwörter: Plasmaätzen > Fotovoltaik > Entspiegeln > Reflexionskoeffizient > Siliciumnitrid > Elektronenmikroskopie Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, 2018 Anmerkungen: Literaturverzeichnis Seite 101-108 Tag der öffentlichen Verteidigung: 13. Juli 2018
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2019 8 016866 Barcode: 34802211 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.