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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Kapazitive Siliziummikrofone Beteiligte: Kühnel, Wolfgang [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 202 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VIII, 106 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch Schlagwörter: Kondensatormikrofon > SG-FET > Silicium > Halbleitersubstrat > Mikromechanik Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss. Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 10
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 0992 01164 001 Barcode: 10065048 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.