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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Oberflächenstruktur dünner Sputterschichten mittels Rasterkraftmikroskopie, Röntgenreflektometrie und diffuser Röntgenstreuung Beteiligte: Schug, Christoph [VerfasserIn] Erschienen: Stuttgart: Max-Planck-Inst. für Metallforschung, 1997 Erschienen in: Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; 54 Umfang: V, 122 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch Schlagwörter: Sputtern > Dünne Schicht > Rauigkeit > Rasterkraftmikroskopie Sputtern > Dünne Schicht > Rauigkeit > Röntgenstrahlung > Reflektometrie Sputtern > Dünne Schicht > Rauigkeit > Röntgenstreuung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Bericht