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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Rasterkraftmikroskopische Untersuchungen zur Reibung von Silicium- und Al 2 O 3-Einkristalloberflächen im Kontakt mit Silicium Beteiligte: Franzka, Steffen [VerfasserIn] Erschienen: Karlsruhe: Institut für Keramik im Maschinenbau Universität Karlsruhe, 1999 Erschienen in: Institut für Keramik im Maschinenbau: IKM ; 27 Umfang: VIII, 156 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: UP 7570 : Halbleiter-Schichten UP 7700 : Spezielle Eigenschaften dünner Schichten und Grenzflächen Schlagwörter: Rasterkraftmikroskopie > Silicium > Kristalloberfläche > Reibung Rasterkraftmikroskopie > Aluminiumoxide > Kristalloberfläche > Reibung Silicium > Saphir > Einkristall > Rasterkraftmikroskopie Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1999 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : IKM