• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Untersuchung des Puls-Magnetron-Sputterprozesses zur Abscheidung von Aluminiumoxid und des Einflusses einer gepulsten Biasspannung am Substrat
  • Beteiligte: Wünsche, Tilo [VerfasserIn]
  • Erschienen: 2003
  • Umfang: 118 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • RVK-Notation: ZN 4176 : Elektronenstrahl- und Lasertechnologien
  • Schlagwörter: Magnetronsputtern > Aluminiumoxide > Substrat
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2003
  • Anmerkungen: Kurze engl. Zsfassung

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