> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens Beteiligte: Löffler-Peters, Andrea [VerfasserIn] Körperschaft: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 231 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: 183 S.; Ill, graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3181431109 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Siliciumverbindungen > Laser-CVD-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1992 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 10