Schwille, Matthias C.
[VerfasserIn]
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Technische Universität Dresden
Konformität von dünnen Schichten aus Atomlagenabscheidung in großen dreidimensionalen Strukturen und charakteristische Eigenschaften für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik
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Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
Konformität von dünnen Schichten aus Atomlagenabscheidung in großen dreidimensionalen Strukturen und charakteristische Eigenschaften für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik