• Medientyp: Buch
  • Titel: Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für d. Mikroelektronik
  • Beteiligte: Arnold, Heinrich [VerfasserIn]
  • Erschienen: Berlin: Akademie-Verlag, 1982
  • Umfang: X, 158 S.; graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • RVK-Notation: VE 7000 : Allgemeines
  • Schlagwörter: Halbleitertechnologie > CVD-Verfahren
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Literaturverz. S. 145 - 152. - Vom Ms. gedr

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