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Medientyp: Buch Titel: Analysis of microelectronic materials and devices Beteiligte: Grasserbauer, Manfred [Hrsg.] Erschienen: Chichester [u.a.]: John Wiley & Sons, 1996 Ausgabe: Repr. Umfang: XLVI, 934 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0471950130 RVK-Notation: ZN 3400 : Allgemeines Schlagwörter: Werkstoff > Mikroelektronik > Chemische Analyse Entstehung: Anmerkungen: