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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Beteiligte: Markert, Matthias [VerfasserIn] Erschienen: 2001 Umfang: 190 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch RVK-Notation: ZN 4100 : Allgemeines Schlagwörter: Wafer > Mehrschichtschaltung > Metallisieren > Leiterbahn > Kupfer > Plasmaätzen Entstehung: Hochschulschrift: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2001 Anmerkungen: