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Medientyp: Buch Titel: Micromachining using electrochemical discharge phenomenon : fundamentals and application of spark assisted chemical engraving Beteiligte: Wüthrich, Rolf [VerfasserIn] Erschienen: Burlington: William Andrew, 2009 Erschienen in: Micro & nano technologies Ausgabe: 1. ed. Umfang: XIV, 181 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9780815515876 RVK-Notation: ZN 4172 : Ätzen Schlagwörter: Micromachining ; Electrochemical cutting ; Electric discharges Industrial applications ; Plasma etching Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references