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Medientyp: Buch Titel: Optical inspection of microsystems Beteiligte: Osten, Wolfgang [Hrsg.] Erschienen: Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC / Taylor & Francis, 2007 Erschienen in: Optical science and engineering ; 109 Umfang: 503 S.; zahlr. Ill. und graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9780849336829; 0849336821 RVK-Notation: ZN 4032 : Nichtelektrische Prüfverfahren Schlagwörter: Optische Analyse > Mikrosystemtechnik > MEMS Mikrosystemtechnik > Optische Analyse Mikrosystemtechnik > MEMS > Optische Analyse > Inspektion > Qualitätskontrolle > Bildkorrelation > Elektronenholografie > Speckle-Interferometrie Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index Weitere Bestandsnachweise 0 : Optical science and engineering