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Medientyp: Buch Titel: Handbook of silicon wafer cleaning technology Beteiligte: Reinhardt, Karen A. [HerausgeberIn]; Kern, Werner [HerausgeberIn] Erschienen: Oxford; Cambridge: William Andrew, [2018] Ausgabe: Third edition Umfang: xviii, 773 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Englisch ISBN: 9780323510844 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: SOI-Technik > Wafer > Oberflächenreinigung Entstehung: Anmerkungen:
Bestand der TU Dresden Signatur: 2019 8 008637 Barcode: 12002353N Status: Verfügbarkeit bitte in Prof Anorganische Chemie AC1 erfragen.