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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Application of Silicon-on-Nothing and carbon sacrificial layer methods in suspended pressure and temperature sensing micromechanical systems Beteiligte: Kravchenko, Andrey [VerfasserIn]; Fischer, Wolf-Joachim [AkademischeR BetreuerIn]; Mehner, Jan [AkademischeR BetreuerIn] Körperschaft: Technische Universität Dresden Erschienen: Dresden, [December 29, 2021] Umfang: xv, 148 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Englisch RVK-Notation: ZN 4136 : Technologie der Mikromechanik ZQ 3900 : Berührungslose Messverfahren allgemein ZQ 3740 : Kraftmessung; Messung von Drehmoment; Messung von mechanischer Spannung, Arbeit, Leistung Schlagwörter: Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2021 Anmerkungen: Das Erscheinungsdatum ist der Tag der Erklärung des Promovenden nachfolgend der Haupttitelseite
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2022 8 001972 Barcode: 34079250 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2022 8 001974 Barcode: 34079252 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden